等离子喷涂ZrO_28Y_2O_3涂层厚度测量方法研究.PDF

     本文提出的激光- CCD - 计算机装置测量ZrO2-8Y2O3涂层厚度的方法的主要测量误差是激光光束的漂移和厚度增量测量时的不准确度。实验测量时, 将激光光斑定点到被测涂层表面上, 多次重复测量, 经过误差计算, 得到了测量重复性误差在±5um范围内。涂层的测量精度主要取决于CCD 的像素横向尺寸, 本研究用的 CCD 单个像素横向尺寸为7um。此方法的优点是(1)非接触；(2)点测量, 光斑尺寸(直径大约在 1 mm 左右) 是1∶1传输或经计算机加权修正数据处理；(3) CCD灰度矩阵是以像素为基本尺寸单位, 测量精度高；(4)计算机实时处理并输出结果；(5)装置简便。